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X射线光电子能谱仪(XPS)

仪器照片

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仪器名称

X射线光电子能谱仪

仪器型号

Thermo   escalab 250Xi

生产厂家

美国Thermo Fisher

技术参数

180°半球能量分析器        能量范围:0~5,000 eV

Al Kα单色化XPS            Mg/Al双阳极XPS 

X射线束斑面积从900 μm到200 μm连续可调;

大束斑:Ag3d5/2(FWHM=0.50eV)强度≥400 kcps;20   µm束斑 :Ag3d5/2(FWHM=0.45 eV)强度≥0.5 kcps;

大束斑:Ag3d5/2(FWHM=0.8 eV)强度大于650 kcps;对Ag3d5/2线扫描的空间分辨率优于3 μm;

主要功能

测量物体表面3-5   nm内的元素成分及价态;定性分析;定量分析;元素价态分析;离子刻蚀分析

定性分析

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半定量分析

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价态分析




样品要求

送样品须干燥处理;样品须是粉末或是小于4 mm的块状颗粒。如进行价态分析须注明窄扫元素;如进行半定量分析须注明半定量元素;元素含量仅供参考如需精确定量请选择其它检测项目;如需刻蚀需注明刻蚀的厚度及次数;寄送样品质量大于50 mg。

 


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